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    第697章 直奔浸润式光刻(第 2/3 页)

    目前，获得了来自飞利浦和intel大力支援的asml，虽然还是在制造krf光刻机，但他们光刻机的稳定性就大大超过了尼康佳能，一条生产线的稼动率甚至可以长期稳定在90%以上。

    至于鸿芯这边，根据统计，稼动率是在70%到80%左右浮动，和尼康佳能差不多。

    “只有慢慢来，我们现在只有尽量优化流程，提高零部件标准，然后再细细打磨。”苏远山这边提到稼动率，郑振川也一阵烦恼。双工件台是好，但如果无法通过长时间的流水线生产的验证，那也仅仅只是弥补缺陷罢了。

    “嗯，没事。”苏远山点点头：“工艺打磨可以慢慢来。我们本身就落后几十年，现在是强行追上来的，有缺陷和不稳定很正常，慢慢吸取教训，慢慢进步就是了。但研发不能慢下来。”

    “我希望你们直接就与林，赵团队合作，直接跳过单纯的arf光刻机……或者说，直接协同研发跨越193nm的光刻机！”

    他话音落下，这边曲慧和沈浩然马上便是一惊！

    “小山，你的意思是林博士他们解决了下一代光源了？”曲慧由于长年累月呆在鸿芯这边，早已经对光刻机技术和发展了如指掌，知道目前国内虽然由赵凯东那边实现了arf光源的突破，但arf在国外可是好几年前就已经突破了……而且人家早就意识到了193nm的arf激光将会是光刻机发展的一个重要节点——这也是国产光刻机追上世界的重要机会。

    但人家意识得造，就意味着布局得早。尼康早就拉了一帮人在搞157nm的f2准分子光源不说，老美那边更是牛逼，国家能源局亲自下场，组建了一支豪华的阵容直接瞄准了最低可到10nm波长的极紫外光源euv。

    而国内，则压根没有那个精力去搞。

    现在苏远山说的不是直接搞光源，而是直接搞光刻机……

    好家伙，意思就是那边的团队搞定了光源？

    当然，郑振川不向曲慧他们这样一惊一乍的，作为鸿芯的负责人，他自然知道林本坚他们的方案，并且自己这边也给出了合作计划。

    但苏远山现在说到直接就进行光刻机的研究……

    这……是不是走得太快了一点？

    所以，郑振川也疑惑地望向苏远山。

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